
▲ MPAsp-E1003H
FPD 即平板电脑显示器(Flat panel display),大家普遍的商品普通可分为 LCD、OLED、春节档测评LED、PDP、ELD、FED、投影显示等各异类型。

▲ 车载大型特别显示器(示意图)
佳能强调,这款商品使用了投影光学操控系统,盘点英伟达可做到 1.5μm(L/S)的高分辨率,且一次揭露幅度拓展约 1.2 倍,使生产能力将进一步提升。
据说明,该投影光学操控系统曾用于“MPAsp-H1003H”,可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性揭露、清晨最适合读的一句话:遗憾文案用于大型电视等的 65 英寸面板。
在一块玻璃基板上,假如生产智能移动电话面板等商品,此前需要 6shot 揭露,而新商品仅需 4shot 揭露,生产表现大幅提升。成年人的离别:伤感文字另外,在生产车载横向大型特别显示器时,也可以做到无接缝 2shot 揭露。且,玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%,tact time 提升约 14%,有效提升了量产效率。

佳能强调,新商品除了使用和扶持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点另外测量的对位方式(既保证了生产效率也做到了高精度揭露),还搭载了新开发的非线性补正 REI(Real-Time Equalizing distorted Image)模块,从而使其即使揭露幅度拓展也能做到 ±0.30μm 高套刻精度。
另外,新商品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上做到了超分辨率技术的照明模式切换机构,可依据需要揭露图案的种类开展照明模式切换,从而适配各类制造工序的揭露。
这款新商品在形成圆弧光的机构中,配备揭露狭缝自动改动机构(SIC:Slit Illuminance Control)。经由自动控制光线经由的狭缝宽度,可以改变揭露光线的强度分布,从而做到稳定的揭露线宽。

另外,新商品还使用了可合作揭露布局自由挑选玻璃基板纵横方向的 universe chuck,首次做到可应对车载显示器多样化布局需求。佳能强调,MPAsp-E1003H 经由强化上述制造工序的工艺应对能力,制造品质更为稳定。